四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。該儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、度、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
適用范圍:
1、覆蓋膜;導(dǎo)電分子膜,、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類(lèi)箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試。
2、硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽(yáng)能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜。
3、EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜。
4、抗靜電材料, EMI 防護(hù)材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等。
1、四探針單電測(cè)量方法;
2、液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)量程,自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償;
3、集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;
4、選配:PC軟件行數(shù)據(jù)管理和處理;
5、提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇。
設(shè)備特點(diǎn):
1、可以測(cè)量溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
2、軟件、觸摸屏、溫爐等集成于體,可以行可視化操作;
3、可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測(cè)量;同時(shí)保證探針在溫下不氧化;
4、采用labview軟件開(kāi)發(fā),操控性、兼容性好、方便升級(jí);
5、可自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓,探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象;
6、控溫和測(cè)溫采用同個(gè)傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度;
7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表。