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熱式氣體質量流量控制器
熱式氣體質量流量控制器
更新時間:2013-04-20
點擊次數(shù):2355
熱式氣體質量流量控制器 型號;DP-S48 32/HMT
編號
項目
DP-S48 32/HMT
1
流量規(guī)格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
調節(jié)閥類型
電磁調節(jié)閥
3
調節(jié)閥靜止狀態(tài)
常閉
4
安裝方向
意
5
流量控制范圍
2%-
6
流量測量范圍
(0-100)%
7
零點溫漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
響應時間
2s(T98,設定值的±2%F.S.)
9
作環(huán)境溫度
5~50℃
10
度保證溫度
15~35℃
11
度
±1.0%F.S
12
線性
±0.5%F.S
13
重復度
±0.2%F.S
14
作壓差范圍
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐壓
3MPa
16
漏率
1×10
-8
Pa.m
3
/s(He)
17
管路接頭
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供電電源
±15VDC(±5%) +
15V,100mA;
-15V, 200mA
19
設定信號
(0-5)VDC
輸入阻抗>1MΩ
20
流量輸出信號
(0-5)VDC
負載輸出電流能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113(寬)
×121
()
×32(厚)
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010
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