技術(shù)文章
Technical articles低阻型四探針檢測儀/方阻儀/四探針電阻率檢測儀 型號;DP-KDY-1
儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
(2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-5歐姆·厘米
方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,zui小分辨率為10-4歐姆/□
(3)可測量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準確測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜
可測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜
(4)測量方式:平面測量。
(5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時觀察電流、電壓變化
A.量程0~19.999 mV
B.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
C.靈敏度:1uV
D輸入阻抗﹥1000MΩ
E 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999
(6)恒流源:
A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),有交流電源供給
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔
C.恒流源度:各檔均≤±0.05%
(7)四探針測試探頭
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機械游率:±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他分之間的緣電阻大于109歐姆。
(8)測試架:(選配)
手動測試架:KDJ-1A 型手動測試架探頭上下由手動操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測試,探針頭可上下移動距離:120mm,測試臺面200x200(mm)。
(9)度
電器度:1-1000歐姆≤0.3 %
整機測量度:1-100歐姆·厘米≤3%
(10)電流:220V±10%,50HZ,率消耗﹤35W