技術(shù)文章
Technical articles四探針電阻率測(cè)試儀/四探針電阻率儀/方阻測(cè)試儀/方阻儀/四探針電阻率測(cè)定儀(自動(dòng)測(cè)試臺(tái)+帶軟件) 型號(hào):DP-KDY-1
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另塊數(shù)字表(以分之幾的度)適時(shí)監(jiān)測(cè)程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭",探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來(lái)很大方便。
2、主機(jī)能數(shù)
(1)測(cè)量范圍:
可測(cè)電阻率:0.0001~19000Ω?cm
可測(cè)方塊電阻:0.001~1900Ω?□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測(cè)量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿(mǎn)度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無(wú)強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×度)
備注:
等級(jí)測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻率),度<3%
電氣測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻),度在0.3%以?xún)?nèi)
備注:
儀器包括:主機(jī)臺(tái);測(cè)試架(包括臺(tái)面)個(gè);四探針頭1個(gè);軟件