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雙電測四探針測試儀/四探針測試儀　型號：DP/RTS-5

發(fā)布時(shí)間：2015/3/31點(diǎn)擊次數(shù)：311

雙電測四探針測試儀/四探針測試儀　型號：DP/RTS-5

DP/RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下行兩次電測量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

   DP/ RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
參數(shù)：

 測量范圍

 電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展)；
 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
 電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無頻干擾；
 無強(qiáng)光直射；

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